OPTORUN光馳自行開(kāi)發(fā)的離子輔助蒸度高性能射頻（RF）離子源，適應(yīng)于在高速率下的離子束輔助沉積（IAD）及清洗。搭載在光馳的成膜設(shè)備適于各種光學(xué)濾光片的中規(guī)模量產(chǎn)。在離子輔助蒸鍍大電流大面積的性能方面加以進(jìn)化的RF離子源，維護(hù)性能的優(yōu)化及中和器的改良，提高冷卻效率來(lái)達(dá)到穩(wěn)定生產(chǎn)的效果。適用于在高速率下離子束輔助沉積（ＩＡＤ）及清洗。搭載在光馳的成膜設(shè)備上可適合于各種光學(xué)濾光片的大規(guī)模量產(chǎn)。 我司有自行研發(fā)的光馳各系列測(cè)試系統(tǒng)，常修的光馳電源型號(hào)如下（常見(jiàn)故障有：通電無(wú)顯示、無(wú)法啟動(dòng)、通訊異常、互鎖信號(hào)異常、輸出電壓電流偏低或偏高、輸出不穩(wěn)、過(guò)熱等）： 離子源控制器OISC-0ne 離子源電源 OISS-one OIS-Two OIS-Two Plus 離子源電源SOURCE DC OISS-II+ 離子源oIS-One/oIS-Two/oIS-Two Plus/OIS-ThreeOIS-Three Plus 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀 HOM2-N1-VIS350 HOM2-R-VIS350 HOM2-T-VIS350 HOM2-R-IR900 HOM2-T-IR900 HOM2-D1 HOM2-RT-S1 HOM4-R HOM5-T-IR2000 直接透過(guò)式監(jiān)控儀DHOM2-T DHOM4-T 投光器用黿源HOM2-P 投光器HOM2-L 分光器HOM2-N1/N2