MKS射頻電源提供先進(jìn)的RF等離子體產(chǎn)生和控制功能，可在最苛刻的薄膜處理應(yīng)用中以低成本和高成品率提供。非常適合在集成電路，平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備制造過(guò)程中用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD），高密度等離子體CVD（HDPCVD），蝕刻和其他薄膜應(yīng)用。 我司有自行研發(fā)的電源各系列測(cè)試系統(tǒng)，常修的MKS RPS遠(yuǎn)程離子體源、射頻電源、微波電源型號(hào)如下（常見(jiàn)故障有：通電無(wú)顯示、互鎖信號(hào)異常、無(wú)法啟動(dòng)、啟動(dòng)無(wú)輸出、反射功率大、輸出功率不穩(wěn)定、過(guò)熱等）： ASTEX AX7670-18 ASTRONi (3L) AX7640 ASTEXAX7645PS-02ASTRON HFS (15 L) ASTEX ASTRONi 3L AX7670-19 0190-26744 ASTEX ASTRONi 3L AX7670-60 208VAC ASTRONi ASTeX AX7670-30 ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-36 PN 27-249173-001 ASTEXASTRON e/ex (4-8L) AX7685-33 RPS等離子電源 ASTEXASTRON 2L FI20620-1-C ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-20 PN 0190-34542W ASTEXAX7690LAM-23 ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-30 PN 27-406198-00 ASTEX ASTRON2L F120620-1 ASTEXASTRON e/ex AX7685-87G PN 0190-62795W ASTEX ASTRONi 3L AX7671-85 ASTEXASTRONi 3L AX7670-31 ASTEX ASTRON iAX7670-16 P/N 0190-24886 ASTEX ASTRON2LAX7651-2 ASTEX AX8560-1050 ASTEX RPS ASTRON2LAX7657-85 ASTEX FI20160-3 P/N 660-011161-702 3.0KW ASTEX FI20162-1 ASTRONi ASTeX AX7670-30 C13002 P/N 660-080455-635 13KwW SPECTRUM 11002-00 P/N 0190-22201 SPECTRUM B-3013-02 P/N O05541 3000W 維修MKS匹配器（常見(jiàn)故障有：反射功率偏高、無(wú)功率輸出、輸出功率不穩(wěn)、復(fù)位異常、互鎖信號(hào)異常） MW-10D MW-5D-01B MW-5DM12 MW-25D-05M1 MW-25LD MW-50 MWD-25LD MWD-55LD MWH-5 MW-5D DCG-200E OPTIMA OPT-100E-15042 DCG-100A DCG-75 DCG-75E DCG-100 DCG-100E DCG-100Z DCG-150 DCG-150E DCG-200 DCG-200Z DCG-400 DCG-600 RPG-50 RPG-100 RPG-200 OPT-50 OPT-100 OPT-200 OPT-400 OPT-600 Polara-260A B-10513 SPECTRUM 10513-00 P/N 0190-36638 B-3013 SPECTRUM 3013-083000W Revolution llIl Ax7695PSK-11 RPS MWH-25 MWH-100 MWH-100M MWM-25 PDR-C-1C-BCD PDR-CJ1C-BCD B3013 651D-15413 1022036-001 152d-po-s DOFBC2-075 DOFBC2-083 DOFBC2-084 w2513 M3513 MWD-25LD-02 MWD-25LD-6 MWH-100-01 MWD-MWD-55LD-01 MHW-25-04 MWO 5 MWO 70 MWO 100