optorun光馳
離子源電源SOURCE DC OISS-II+
維修案例實拍圖
OPTORUN光馳自行開發(fā)的離子輔助蒸度高性能射頻(RF)離子源,適應于在高速率下的離子束輔助沉積(IAD)及清洗。搭載在光馳的成膜設備適于各種光學濾光片的中規(guī)模量產。在離子輔助蒸鍍大電流大面積的性能方面加以進化的RF離子源,維護性能的優(yōu)化及中和器的改良,提高冷卻效率來達到穩(wěn)定生產的效果。適用于在高速率下離子束輔助沉積(IAD)及清洗。搭載在光馳的成膜設備上可適合于各種光學濾光片的大規(guī)模量產。
我司有自行研發(fā)的光馳各系列測試系統(tǒng),常修的光馳電源型號如下(常見故障有:通電無顯示、無法啟動、通訊異常、互鎖信號異常、輸出電壓電流偏低或偏高、輸出不穩(wěn)、過熱等):
離子源控制器OISC-0ne
離子源電源 OISS-one OIS-Two OIS-Two Plus
離子源電源SOURCE DC OISS-II+
離子源oIS-One/oIS-Two/oIS-Two Plus/OIS-ThreeOIS-Three Plus
光學膜厚監(jiān)控儀
HOM2-N1-VIS350 HOM2-R-VIS350 HOM2-T-VIS350 HOM2-R-IR900
HOM2-T-IR900 HOM2-D1 HOM2-RT-S1 HOM4-R HOM5-T-IR2000
直接透過式監(jiān)控儀DHOM2-T DHOM4-T
投光器用黿源HOM2-P
投光器HOM2-L
分光器HOM2-N1/N2
點擊收起