愛(ài)發(fā)科（ULVAC）是1952年由日本生命保險(xiǎn)公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家公司共同投資建立。愛(ài)發(fā)科以真空技術(shù)為核心，為平板顯示、集成電路等高端制造業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的設(shè)備、材料、真空配套產(chǎn)品及服務(wù)。愛(ài)發(fā)科的目標(biāo)是通過(guò)對(duì)材料技術(shù)的綜合利用，為工業(yè)與科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。。 我司有自行研發(fā)的成熟的電源各系列測(cè)試系統(tǒng)，常修的ULVAC愛(ài)發(fā)科 濺射用D脈沖電源型號(hào)如下（常見(jiàn)故障有：通電無(wú)顯示、無(wú)法啟動(dòng)、啟動(dòng)無(wú)輸出、輸出電壓偏小或偏大、輸出電流偏小或偏大、過(guò)熱等）： DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM DC-30-44H-E DC-2 DC-4 DCS0052B A2KH-25 A2K-20K A2K-40K MFU-20K ULVAC愛(ài)發(fā)科 RF射頻電源型號(hào)（常見(jiàn)故障有：通電無(wú)顯示、電源無(wú)法啟動(dòng)、無(wú)輸出功率、反射功率偏高、入射功率偏低、輸出功率不穩(wěn)、過(guò)熱、互鎖信號(hào)異常等）： RMG-1303 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N MEX2N-1k MEX2N-3k MEX3N-1k MEX3N-3k MEX4N-1k MEX4N-3k MEX5N-1k MEX5N-3k MEX6N-1k MEX6N-3k MEX7N-1k MEX7N-3k MEX8N-1k MEX8N-3k PHS-04N PHS-08N EXO-13