ULVAC愛發(fā)科
分子泵控制FTI-1400W-D3
維修案例實(shí)拍圖
愛發(fā)科(ULVAC)是1952年由日本生命保險(xiǎn)公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家公司共同投資建立。愛發(fā)科以真空技術(shù)為核心,為平板顯示、集成電路等高端制造業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的設(shè)備、材料、真空配套產(chǎn)品及服務(wù)。愛發(fā)科的目標(biāo)是通過對材料技術(shù)的綜合利用,為工業(yè)與科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。。
我司有自行研發(fā)的成熟的電源各系列測試系統(tǒng),常修的ULVAC愛發(fā)科 濺射用D脈沖電源型號(hào)如下(常見故障有:通電無顯示、無法啟動(dòng)、啟動(dòng)無輸出、輸出電壓偏小或偏大、輸出電流偏小或偏大、過熱等):
DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM
DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM DC-30-44H-E DC-2 DC-4 DCS0052B
A2KH-25 A2K-20K A2K-40K MFU-20K
ULVAC愛發(fā)科 RF射頻電源型號(hào)(常見故障有:通電無顯示、電源無法啟動(dòng)、無輸出功率、反射功率偏高、入射功率偏低、輸出功率不穩(wěn)、過熱、互鎖信號(hào)異常等):
RMG-1303 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N MBX-1305N
MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N MEX2N-1k MEX2N-3k MEX3N-1k
MEX3N-3k MEX4N-1k MEX4N-3k MEX5N-1k MEX5N-3k MEX6N-1k
MEX6N-3k MEX7N-1k MEX7N-3k MEX8N-1k MEX8N-3k PHS-04N
PHS-08N EXO-13
點(diǎn)擊收起